一、光刻膠的種類(lèi)有哪些

1、按照顯影效果不同， 光刻膠分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。

正性光刻膠的曝光部分溶于顯影劑，顯影時(shí)形成的圖形與掩膜版上的圖形相同。負(fù)性光刻膠的曝光部分則不溶于顯影劑，顯影時(shí)形成的圖形與掩膜版相反。兩者的生產(chǎn)工藝流程基本一致，區(qū)別在于主要原材料不同。

2、按照化學(xué)結(jié)構(gòu)不同，光刻膠可分為光聚合型、光分解型、光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。

光聚合型光刻膠采用烯類(lèi)單體，在光作用下生成自由基，引發(fā)單體聚合反應(yīng)生成聚合物，常用于負(fù)性光刻膠。

光分解型光刻膠，采用含有重氮醌類(lèi)化合物（DQN）材料作為感光劑，其經(jīng)過(guò)光照后，發(fā)生光分解反應(yīng)，可以制成正性光刻膠。

光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光作用下，形成不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，起到抗蝕作用，可制成負(fù)性光刻膠。

化學(xué)放大型光刻膠采用難以溶解的聚乙烯樹(shù)脂，使用光致酸劑（PAG）作為光引發(fā)劑，當(dāng)光刻膠曝光后，曝光區(qū)域PAG產(chǎn)生酸，可作為后續(xù)熱烘焙工序的催化器，使得樹(shù)脂變得易于溶解。化學(xué)放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍，對(duì)深紫外光源具有良好的光學(xué)敏感性，同時(shí)具有高對(duì)比度，對(duì)高分辨率等優(yōu)點(diǎn)。

3、按照下游應(yīng)用領(lǐng)域不同，光刻膠可分為PCB光刻膠、LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠。

PCB光刻膠主要包括干膜光刻膠、濕膜光刻膠、光成像阻焊油墨。

LCD領(lǐng)域光刻膠主要包括彩色光刻膠和黑色光刻膠、觸摸屏光刻膠、TFT-LCD光刻膠。

半導(dǎo)體光刻膠根據(jù)對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)可以分為紫外光刻膠（300-450nm）、深紫外光刻膠（160-280nm）、極紫外光刻膠（EUV、13.5nm）、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠。光刻膠波長(zhǎng)越短，加工分辨率越高。

二、光刻膠應(yīng)用于哪些領(lǐng)域

光刻膠是一種常見(jiàn)的材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。它的主要作用是在微電子制造過(guò)程中，用于制作微型電路板、光學(xué)元件、生物芯片等微型器件。

在半導(dǎo)體制造中，光刻膠被用于制作芯片的圖形化圖案。首先，將光刻膠涂在硅片表面，然后使用光刻機(jī)將光刻膠暴露在紫外線下，使其形成所需的圖案。接著，通過(guò)化學(xué)腐蝕或離子注入等方法，將暴露出來(lái)的硅片進(jìn)行加工，最終形成芯片的電路結(jié)構(gòu)。

在光電子領(lǐng)域，光刻膠被用于制作光學(xué)元件，如光柵、衍射光柵、光學(xué)波導(dǎo)等。通過(guò)將光刻膠涂在光學(xué)元件表面，然后使用光刻機(jī)進(jìn)行暴露和加工，可以制作出高精度的光學(xué)元件，用于光通信、激光器、光學(xué)傳感器等領(lǐng)域。

在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，光刻膠被用于制作生物芯片。生物芯片是一種微型化的生物實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，可以用于分析、檢測(cè)、診斷等。通過(guò)將光刻膠涂在芯片表面，然后使用光刻機(jī)進(jìn)行暴露和加工，可以制作出微型通道、微型反應(yīng)器等結(jié)構(gòu)，用于生物實(shí)驗(yàn)。

光刻膠在微電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。它的高精度、高分辨率、可控性等特點(diǎn)，使得微型器件的制造更加精細(xì)化、高效化。隨著科技的不斷發(fā)展，光刻膠的應(yīng)用也將不斷拓展，為人類(lèi)帶來(lái)更多的科技創(chuàng)新和發(fā)展。