一、金屬材料
常見金屬:如鋁(Al)、銅(Cu)、鉻(Cr)、鈦(Ti)、鎳(Ni)、金(Au)、銀(Ag)等,這些金屬具有良好的導電性、導熱性或裝飾性。
合金材料:如不銹鋼、鋁合金等,通過鍍膜可以進一步提升其耐腐蝕性、硬度或美觀度。
二、非金屬材料
氧化物:如二氧化硅(SiO?)、氧化鋁(Al?O?)、氧化鋅(ZnO)等,這些氧化物具有優(yōu)異的絕緣性、耐磨性或光學性能。
氮化物:如氮化硅(Si?N?)、氮化鈦(TiN)等,氮化物通常具有高硬度、高耐磨性和良好的化學穩(wěn)定性。
碳化物:如碳化鈦(TiC)、碳化鎢(WC)等,碳化物具有極高的硬度和耐磨性,適用于需要承受高負荷或高速摩擦的場合。
其他非金屬化合物:如類金剛石(DLC)膜等,具有類似金剛石的硬度和耐磨性,但成本更低。
三、半導體材料
硅(Si):作為半導體工業(yè)的基礎(chǔ)材料,通過鍍膜可以形成PN結(jié)、歐姆接觸等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)。
砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)等:這些化合物半導體材料在高速、高頻、大功率電子器件中有廣泛應(yīng)用,鍍膜技術(shù)可以進一步提升其性能。
四、有機高分子材料
聚合物:如聚酰亞胺(PI)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等,通過鍍膜可以賦予其導電性、抗靜電性或提高表面硬度等性能。
五、特殊功能材料
光學膜材料:用于制造增透膜、反射膜、濾光片等光學元件,提高光學系統(tǒng)的性能。
生物相容性材料:在醫(yī)療器械表面沉積生物相容性好的膜層,提高器械的耐用性和安全性。
自清潔材料:如具有光催化性的二氧化鈦(TiO?)膜等,可以使表面易于清潔并具有抗菌性能。