一、啟動(dòng)真空系統(tǒng)
拉出低壓閥,打開充氣閥,確認(rèn)聽不到氣流聲后,啟動(dòng)升鐘罩閥,使鐘罩升起。對(duì)于某些機(jī)型,需要依次開啟維持泵、真空計(jì)電源,等待真空度達(dá)到一定值(如小于10)后,再開啟機(jī)械泵進(jìn)行預(yù)抽真空。
二、安裝與調(diào)試
安裝鍍膜材料:安裝固定鎢螺旋加熱子(或其他蒸發(fā)源),將鍍膜材料(如鋁絲)穿放在加熱子內(nèi)。
放置基材:把待鍍膜的基材(如PVDF薄膜和鋁蓋板)固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上,確保基材表面清潔無雜質(zhì)。
清理真空室:清理鐘罩內(nèi)各部位,確保無任何雜質(zhì)污物,以免影響鍍膜質(zhì)量。
落下鐘罩:確認(rèn)所有部件安裝完畢后,落下鐘罩,準(zhǔn)備進(jìn)行鍍膜操作。

三、鍍膜過程
抽真空:啟動(dòng)真空鍍膜設(shè)備的抽真空機(jī)械泵,繼續(xù)降低真空室內(nèi)的氣壓。對(duì)于需要高真空的鍍膜工藝,可能需要開啟擴(kuò)散泵等進(jìn)一步降低氣壓。
開通冷卻水:在鍍膜過程中,可能需要開通冷卻水以控制設(shè)備溫度。
啟動(dòng)鍍膜源:當(dāng)真空度達(dá)到要求后,啟動(dòng)鍍膜源(如電子槍、蒸發(fā)源等),開始鍍膜操作。根據(jù)鍍膜材料和要求,調(diào)整鍍膜源的功率、氣體流量等參數(shù)。
監(jiān)測(cè)鍍膜過程:在鍍膜過程中,使用監(jiān)測(cè)儀器(如石英晶體微天平)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度和質(zhì)量,確保鍍膜效果符合設(shè)計(jì)要求。
四、鍍膜完成
關(guān)閉鍍膜源:當(dāng)鍍膜達(dá)到預(yù)定厚度或時(shí)間后,關(guān)閉鍍膜源。
停止抽真空:依次關(guān)閉真空泵、機(jī)械泵等真空設(shè)備,停止抽真空操作。
充氣與升鐘罩:向真空室內(nèi)充氣至大氣壓,然后升起鐘罩,取出鍍膜完成的基材。
清理與維護(hù):對(duì)鍍膜機(jī)進(jìn)行清理和維護(hù),包括清理真空室、更換耗材等,確保設(shè)備處于良好狀態(tài)。