1960年,畢業(yè)于吉林工業(yè)大學機械制造專業(yè)。
1960年至1998年,在中科院長春光學精密機械研究所從事超精密齒輪制造研究工作。
20世紀80年代和90年代,開展激光光盤刻錄母機和微型機械研究工作。
1991年,當選中國科學院院士。
1992年,組建中國第一個微型機械研究室。
1996年,負責撰寫“十五”863 MEMS發(fā)展規(guī)劃。同年被聘為大連理工大學教授,兼任機械工程系學術(shù)委員會主任。
1998年12月,正式調(diào)轉(zhuǎn)至大連理工大學工作,先后擔任大連理工大學機械工程學院學術(shù)委員會主任、校學位委員會副主任,微機電系統(tǒng)研究中心主任。
1999年,組建大連理工大學跨院系、跨學科的微系統(tǒng)研究中心。
2003年,參與撰寫國家中長期科學與技術(shù)發(fā)展規(guī)劃中的納米技術(shù)與微系統(tǒng)分專題。
2004年,組建遼寧省微納米技術(shù)及系統(tǒng)重點實驗室/微系統(tǒng)與微制造遼寧省高校重點實驗室。
2014年,擔任2011高端制造裝備協(xié)同創(chuàng)新中心工藝首席科學家。
2018年8月29日,當選中國儀器儀表學會會士。
1985,獲“吉林省有突出貢獻的中青年科技人才”稱號。
1991,獲“中國科學院先進工作者”。
2003,獲“大連市特等勞動模范”稱號。
2004,獲“遼寧省五一勞動獎章”。
1978年,《高精度小模數(shù)標準齒輪》獲“全國科學大會獎”。
1985年,《超精密齒輪工藝技術(shù)》獲“國家科技進步二等獎”。
1992年,《光盤伺服槽及預制格式刻劃機》獲“國家科技進步二等獎”。
1999年,《高精度漸開線樣板》獲“國家科技進步三等獎”。