一、振鏡1和振鏡2是什么意思

1、振鏡1（或者叫振鏡X）

振鏡1的寬度是由光束的直徑所決定的。完整光束直徑在這里是比較容易討論的，完整的光束直徑在一定程度上是任意的。

例如，一個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)師可能將DF界定為激光射在有機(jī)玻璃留下的燒焦的光束直徑。另外DF可能被定為一個(gè)能量為99%的標(biāo)準(zhǔn)能量點(diǎn)，或者是限定在某個(gè)范圍內(nèi)，如1.4D–1.6D。

考慮到鏡片的誤差，振鏡的寬W1要略微大于所選擇的DF的值。鏡片上的最大入射角imax決定了振鏡的長(zhǎng)度。讓a=(90°-imax)。當(dāng)振鏡的長(zhǎng)度是L1，這里L(fēng)1=W1/sina。

2、 振鏡2（或者叫振鏡y）

振鏡2的寬度應(yīng)該等于振鏡1的長(zhǎng)度。振鏡2的長(zhǎng)度就是光束打在第二個(gè)振鏡上時(shí)同S1的距離，和最大入射角q。這些鏡片被制作并被鍍上的特定的膜層，從而決定用于CO2激光還是YAG激光。他們有很高的激光損傷值，1000w/mm的情況下光束直徑是1/e2（D）。

我們將鏡頭描述為F-theta鏡頭，或者‘Fq’。設(shè)計(jì)的方法是要產(chǎn)生一個(gè)離軸點(diǎn)的位置成正比的掃描角度。依次，就是要產(chǎn)生成正比的電壓，已適用于掃描器馬達(dá)。由于失真是來(lái)自于兩個(gè)振鏡，所以我們兩個(gè)軸上的掃描器要有能夠轉(zhuǎn)動(dòng)F-theta的特征。

二、 振鏡1和振鏡2怎么調(diào)比例

為了使軟件坐標(biāo)與實(shí)際運(yùn)行距離場(chǎng)地對(duì)應(yīng)及輸出軌跡不失真，則需要需要實(shí)時(shí)的對(duì)每一個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行校正，通常采用查找表分段線性插值的方法進(jìn)行位置校正，校正點(diǎn)越多實(shí)際輸出位置越精準(zhǔn)。

正運(yùn)動(dòng)SCAN控制器提供了BOX校正、多點(diǎn)校正等方法，不管是系數(shù)校正還是多點(diǎn)校正，校正點(diǎn)參數(shù)都是寫到控制器內(nèi)部系統(tǒng)數(shù)組TABLE寄存器的。因此在程序中有其他功能應(yīng)用到TABLE寄存器時(shí)需要注意地址的合理分配。

1、Box系數(shù)校正

系數(shù)校正指的是根據(jù)振鏡輸出圖形枕/桶形失真、平行四邊形失真、梯形失真、比例縮放幾種情況進(jìn)行系數(shù)調(diào)整校正。

通過(guò)調(diào)用ZScan_CorrectFactor進(jìn)行系數(shù)校正。先控制振鏡繪制出一個(gè)正方形校正圖形，根據(jù)校正圖形的失真按下圖情況調(diào)整對(duì)應(yīng)的系數(shù)參數(shù)，根據(jù)標(biāo)刻長(zhǎng)度與測(cè)量長(zhǎng)度調(diào)整縮放系數(shù)，直到實(shí)際標(biāo)刻的尺寸與設(shè)置一致時(shí)認(rèn)為校正成功，校正系以是填寫的變化量，通常以0值為參考基準(zhǔn)變化。

2、9點(diǎn)校正

9點(diǎn)校正指的是根據(jù)在工作范圍內(nèi)標(biāo)刻3*3的表格，根據(jù)每個(gè)點(diǎn)的理論位置與實(shí)際位置來(lái)進(jìn)行振鏡校正。

先控制振鏡預(yù)繪制出一個(gè)3*3校正表格圖形，按下圖所示P1-P9的順序填入X坐標(biāo)與Y坐標(biāo)實(shí)際測(cè)量值，填入P1點(diǎn)的理論標(biāo)刻與P9點(diǎn)的理論坐標(biāo)，通過(guò)調(diào)用ZScan_Correct9進(jìn)行9點(diǎn)校正。需重新標(biāo)刻測(cè)試，直到實(shí)際標(biāo)刻與理論值達(dá)到預(yù)期精度范圍。

3、25點(diǎn)校正

25點(diǎn)校正指的是根據(jù)在工作范圍內(nèi)標(biāo)刻5*5的表格，校正過(guò)程與9點(diǎn)校正相同，通過(guò)調(diào)用ZScan_Correct25進(jìn)行25點(diǎn)校正。校正點(diǎn)數(shù)越多校正精度也越高。