著錄信息
- 專利名稱：一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的控制系統(tǒng)
- 專利類型：發(fā)明
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN201310676060.0
- 公開(kāi)(公告)號(hào)：CN103834934B
- 申請(qǐng)日：20131211
- 公開(kāi)(公告)日：20160511
- 申請(qǐng)人：南方科技大學(xué)
- 發(fā)明人：何祝兵,王春柱,蘇奇聰
- 申請(qǐng)人地址：518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1088號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼：CN440305
- 專利權(quán)人：南方科技大學(xué)
- 洛迦諾分類：無(wú)
- IPC：C23C16/52
- 優(yōu)先權(quán)：無(wú)
- 專利代理機(jī)構(gòu)：廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
- 代理人：郝傳鑫;熊永強(qiáng)
- 審查員：金桂香
- 國(guó)際申請(qǐng)：無(wú)
- 國(guó)際公開(kāi)(公告)：無(wú)
- 進(jìn)入國(guó)家日期：無(wú)
- 分案申請(qǐng)：無(wú)
關(guān)鍵詞
控制設(shè)備組,監(jiān)控設(shè)備,工藝操作,以太網(wǎng)交換機(jī),數(shù)據(jù)處理,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,數(shù)據(jù)記錄查詢,參數(shù)配置,控制工藝,控制系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)控,遠(yuǎn)程監(jiān)控,反應(yīng)室,裝載室,連接,一種,執(zhí)行,傳輸,操作,滿足,公開(kāi)
網(wǎng)站提醒和聲明
免責(zé)聲明：
本站為會(huì)員提供信息存儲(chǔ)空間服務(wù)，由于更新時(shí)間等問(wèn)題，可能存在信息偏差的情況，具體請(qǐng)以品牌企業(yè)官網(wǎng)信息為準(zhǔn)。如有侵權(quán)、錯(cuò)誤信息或任何問(wèn)題，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們，我們將在第一時(shí)間刪除或更正。
版權(quán)聲明>>
修改>>
申請(qǐng)刪除>>
網(wǎng)頁(yè)上相關(guān)信息的知識(shí)產(chǎn)權(quán)歸網(wǎng)站方所有(包括但不限于文字、圖片、圖表、著作權(quán)、商標(biāo)權(quán)、為用戶提供的商業(yè)信息等)，非經(jīng)許可不得抄襲或使用。本站不生產(chǎn)產(chǎn)品、不提供產(chǎn)品銷(xiāo)售服務(wù)、不代理、不招商、不提供中介服務(wù)。本頁(yè)面內(nèi)容不代表本站支持投資購(gòu)買(mǎi)的觀點(diǎn)或意見(jiàn)，頁(yè)面信息僅供參考和借鑒。
提交說(shuō)明：
快速提交發(fā)布>>
查看提交幫助>>
注冊(cè)登錄>>
