著錄信息
- 專利名稱：一種機械手晶圓定心裝置及方法
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN201310566847.1
- 公開(公告)號：CN104626151B
- 申請日：20131113
- 公開(公告)日：20160629
- 申請人：沈陽新松機器人自動化股份有限公司
- 發(fā)明人：褚明杰,曲道奎,徐方,劉世昌,鄒風(fēng)山,楊奇峰
- 申請人地址：110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請人區(qū)域代碼：CN210112
- 專利權(quán)人：沈陽新松機器人自動化股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：B25J9/18
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機構(gòu)：沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
- 代理人：許宗富
- 審查員：任大林
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
機械手,嵌入式CPU模塊,晶圓,采集電路,地址數(shù)據(jù),定心裝置,伺服軸,驅(qū)動器,串行中斷信號,輸出控制指令,傳感器信號,輸出,控制信號,靈活配置,實際中心,故障點,成對,偏位,示教,鎖存,電路,采集,傳輸,轉(zhuǎn)換,糾正
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