1961年,畢業(yè)于清華大學無線電電子工程系,隨后進入中國科學院半導體研究所工作。
1986年,調(diào)入中國科學院微電子中心(現(xiàn)中國科學院微電子研究所)工作。
1986年 - 1989年,擔任中國科學院微電子中心第一屆副主任。
1991年 - 1997年,擔任中國科學院微電子中心第二屆、第三屆主任。
1991年,當選為中國科學院學部委員(院士)。
1992年,被國家科學技術(shù)委員會聘為“深亞微米結(jié)構(gòu)器件和介觀物理”項目首席科學家。
1991年,當選為中國科學院學部委員(院士)。
1992年,榮獲全國“三八”紅旗手稱號。
1992年,榮獲“九五”國家重大科技攻關(guān)先進個人稱號。
2004年,榮獲“何梁何利基金科學與技術(shù)進步獎”。
1998年,項目《全套0.8微米CMOS工藝技術(shù)》榮獲“中國科學院科技進步一等獎”。
1999年,項目《全套0.8微米CMOS工藝技術(shù)》榮獲“國家科技進步二等獎”。
2003年,項目《先進的深亞微米工藝技術(shù)及新型器件》榮獲“北京市科學技術(shù)一等獎”。