一、什么是探針臺(tái)

探針臺(tái)（Probe Station）是一種用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測(cè)試的重要設(shè)備。它通常由精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)、高性能的探針針頭和電性能測(cè)試儀器組成。探針臺(tái)可以對(duì)半導(dǎo)體芯片、集成電路和其他微電子器件進(jìn)行直接的電性能測(cè)試，從而為研究和生產(chǎn)提供有價(jià)值的信息。

二、探針臺(tái)的分類有哪些

一般根據(jù)用戶測(cè)試樣品、測(cè)試環(huán)境、應(yīng)用類別、產(chǎn)品級(jí)別以及操作方式分類，如下：

1、按測(cè)試樣品分類，可分為：晶圓測(cè)試探針臺(tái)、LED測(cè)試探針臺(tái)、功率器件測(cè)試探針臺(tái)、MEMS測(cè)試探針臺(tái)、PCB測(cè)試探針臺(tái)、液晶面板測(cè)試探針臺(tái)、太陽(yáng)能電池片測(cè)試探針臺(tái)、材料表面電阻率測(cè)試探針臺(tái)、納米器件測(cè)試探針臺(tái)。

2、按應(yīng)用及測(cè)試環(huán)境分類，可分為：高頻、射頻及微波測(cè)試探針臺(tái)、高/低溫環(huán)境測(cè)試探針臺(tái)、高/低溫真空環(huán)境測(cè)試探針臺(tái)、低電流（fA級(jí)）測(cè)試探針臺(tái)、IC/IV/p-IV測(cè)試探針臺(tái)、高壓、大電流測(cè)試探針臺(tái)、特殊氣體環(huán)境測(cè)試探針臺(tái)、磁場(chǎng)環(huán)境測(cè)試探針臺(tái)、雙面點(diǎn)針測(cè)試探針臺(tái)、全封閉式探針臺(tái)（非真空環(huán)境）。

3、按級(jí)別分類可分為：簡(jiǎn)易型探針臺(tái)、標(biāo)準(zhǔn)型探針臺(tái)、分析型探針臺(tái)、高端型探針臺(tái)。

4、按操作方式可分為：手動(dòng)型、半自動(dòng)型、全自動(dòng)型。

5、按特殊應(yīng)用測(cè)試分為：非標(biāo)準(zhǔn)類結(jié)構(gòu)測(cè)試探針臺(tái)。