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掃描電子顯微鏡的原理是什么 掃描電子顯微鏡有哪些用途

摘要:掃描電子顯微鏡,是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學(xué)儀器,被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。接下來本文將重點(diǎn)介紹掃描電子顯微鏡的原理是什么以及掃描電子顯微鏡有哪些用途,一起到文中來看看吧!

一、掃描電子顯微鏡的原理是什么

掃描電子顯微鏡已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具,在正式使用之前,我們來看看掃描電子顯微鏡的原理是什么吧!

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其原理是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等)的差異,在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異,從而獲得具有一定襯度的圖像。

二、 掃描電子顯微鏡有哪些用途

掃描電子顯微鏡可應(yīng)用于陶瓷材料分析、金屬材料失效分析。在石油、地質(zhì)、礦物領(lǐng)域,電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域,醫(yī)學(xué)、生物學(xué)領(lǐng)域,化工、高分子材料領(lǐng)域,公安刑偵工作領(lǐng)域,以及農(nóng)、林業(yè)等方面都有廣泛應(yīng)用。

掃描電子顯微鏡可進(jìn)行顯微形貌分析,如果配備了其它分析儀器也可進(jìn)行成分的常規(guī)微區(qū)分析,包括元素定量、定性成分分析。進(jìn)行顯微形貌分析時(shí),空間分辨率可達(dá)亞微米級;能夠進(jìn)行晶界的狀態(tài)測量,或者晶體/晶粒的相鑒定,以及晶體、晶粒取向測量等;進(jìn)行微區(qū)成分分析時(shí),能夠通過快速的多元素面掃描和線掃描進(jìn)行分布測量。

在現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)和科學(xué)研究中,掃描電子顯微鏡發(fā)展成為材料分析、監(jiān)控工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、保證產(chǎn)品質(zhì)量、保障大生產(chǎn)流程安全高效的必要手段;同時(shí)在生物、環(huán)保、醫(yī)學(xué)等有關(guān)人類的生存、發(fā)展領(lǐng)域的應(yīng)用也日新月異;在軍事現(xiàn)代高科技方面的發(fā)展(例如生物武器、化學(xué)武器戰(zhàn)爭、現(xiàn)場毒物檢測、生命保障任務(wù)等)發(fā)揮了巨大的作用。

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