一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內(nèi)，測量曲線上的極限值±F不超過精度等級±a，也就是光柵尺的測量結(jié)果與實(shí)際值之間的差距小于所標(biāo)稱的值，如有效測量范圍2040mm，精度3um的光柵尺，任意一米范圍內(nèi)的測量結(jié)果與實(shí)際值的差距小于±3um，注意，不是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分辨率是在顯示設(shè)備上（如數(shù)顯表、數(shù)控系統(tǒng)），其數(shù)值累加的最小單位。光柵尺的分辨率與信號(hào)類型有關(guān)，如1Vpp正弦波信號(hào)可以任意倍頻，所以1Vpp信號(hào)的光柵尺其分辨率由接收端的設(shè)備（如數(shù)顯表或數(shù)控系統(tǒng)）確定，光柵尺信號(hào)周期20um，20倍頻后是0.001mm，如果200倍頻后分辨率就是0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區(qū)別

對于傳感器的分辨率與精度的理解，可以拿千分尺為例，分辨率代表千分尺，最多可以讀到小數(shù)點(diǎn)后幾位，但精度還與尺子的加工精度，測量方法有關(guān)系。同樣的，在光柵尺的使用中，分辨率與精度是完全不同的兩個(gè)概念。

光柵尺的分辨率，是指光柵尺可讀取并輸出的最小長度變化，對應(yīng)的參數(shù)有：每毫米光柵刻線數(shù)、脈沖數(shù)、細(xì)分等。比如50線光柵和100線光柵在同等條件下分辨率就不一樣，同等的50線光柵如果細(xì)分方法不一樣分辨率也會(huì)不一樣。

光柵尺的精度反映了光柵尺輸出的信號(hào)數(shù)據(jù)對測量的真實(shí)長度的準(zhǔn)確度，可以理解為測量誤差值，是已測定的固定值，對應(yīng)的參數(shù)是微米（μm）、納米（nm）。

目前國內(nèi)光柵尺分辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些分辨率是怎么得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經(jīng)過4細(xì)分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細(xì)分，這也是目前國內(nèi)機(jī)床尺的多數(shù)工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細(xì)分技術(shù)，增加插補(bǔ)細(xì)分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應(yīng)用于儀器儀表如視頻儀、工具顯微鏡、CNC加工中心等。