一、手套箱的泄漏率是什么

手套箱的泄漏率是手套箱最重要的一個(gè)指標(biāo)，指的是在設(shè)定的壓力下，通常在負(fù)壓下，單位時(shí)間內(nèi)空氣泄漏入手套箱的速度，通常以每小時(shí)泄漏多少個(gè)箱體體積，即vol/h來描述。例如，將箱壓為-10mbar下，在4小時(shí)內(nèi)1升空氣泄漏入一個(gè)單工位手套箱（箱體體積為750升），其泄漏率＝1升/750升/4小時(shí)＝1/3000＝0.03％/小時(shí)。一般手套箱的漏氣率為小于0.05%/小時(shí)，此手套箱合格。

二、手套箱的氣體凈化系統(tǒng)為什么需要再生

手套箱的氣體凈化柱中裝有水和氧氣吸附材料，新的材料的吸附能力最強(qiáng)，吸附速度最快。隨著被吸附的雜質(zhì)量的增加，吸附劑的吸附速度將逐漸下降，導(dǎo)致手套箱內(nèi)的水氧濃度逐漸上升。而且，如果操作過程中帶入少量水氧導(dǎo)致水氧濃度上升，水氧濃度要恢復(fù)到操作前的水平需要更長的時(shí)間。當(dāng)水氧濃度或水氧濃度的恢復(fù)時(shí)間達(dá)到不可接受的情況下，凈化柱就需要再生了。

三、手套箱多長時(shí)間再生一次

凈化柱的再生間隔由兩個(gè)因素決定的。

1、凈化柱的吸附量，即當(dāng)吸附柱吸附雜質(zhì)到一定量后，其純化能力已不能維持水氧濃度在要求范圍內(nèi)或水氧濃度恢復(fù)速度不能滿足要求。手套箱的凈化柱的吸附量通常為20－60升O2。

2、手套箱的泄漏率和操作時(shí)引入雜質(zhì)的量。

a）手套箱的泄漏率通常為<0.05%/hr，即57升O2/月。威格的超低泄漏率為<0.001%vol/h，即1升O2/月。

b）操作時(shí)會(huì)引入少量水氧，但只要按照操作規(guī)程，沒有嚴(yán)重誤操作，水氧被引入手套箱內(nèi)是非常有限的。一年因操作引入的水氧也不會(huì)超過凈化柱的吸附量。

由此可見，只要遵循手套箱的操作規(guī)程，雜質(zhì)進(jìn)入手套箱的主要渠道是通過手套箱上的連接處和手套泄漏進(jìn)去的。所以，手套箱的泄漏率決定了再生間隔，通常在一個(gè)月到一年之間。