一、光刻機是誰發(fā)明的

1822年法國人Nicephore niepce（尼埃普斯）發(fā)明了光刻機，起初是Nicephore niepce發(fā)現(xiàn)了一種能夠刻在油紙上的印痕，當其出現(xiàn)在了玻璃片上后，經(jīng)過一段時間的暴曬，透光的部分就會變得很硬，但是在不透光的部分可以用松香和植物油將其洗掉。

盡管光刻機發(fā)明的時間較早，不過在其發(fā)明之后，并沒有在各行業(yè)領(lǐng)域之中被使用，直到第2次世界大戰(zhàn)時，該技術(shù)應(yīng)用于印刷電路板，所使用的材料和早期發(fā)明時使用的材料也已經(jīng)有了極大的區(qū)別，在塑料板上通過銅線路制作，讓電路板得以普及，短期之內(nèi)就成為了眾多電子設(shè)備領(lǐng)域中最為關(guān)鍵的材料之一。

如今，光刻機已經(jīng)成為半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的主要生產(chǎn)設(shè)備，也決定了整個半導(dǎo)體市場水平工藝的象征。

二、光刻機制造需要哪些技術(shù)

光刻機的制造體系非常復(fù)雜，有兩點至關(guān)重要，即精密零部件和組裝技術(shù)。

1、精密零部件

一臺光刻機的制造需要數(shù)萬個精密零部件。通常來說，一臺光刻機的制造需要大約八萬個精密零件，而目前世界上最為先進的極紫外EUV光刻機所需要的制造零件更是高達十萬余個。

一套完整的光刻機包括多個組成系統(tǒng)，主要包括曝光系統(tǒng)、自動對準系統(tǒng)、整機軟件系統(tǒng)等。其中，曝光系統(tǒng)更是包含了照明系統(tǒng)和投影物鏡。

在組成光科技的所有核心精密零件中，光學鏡頭、光學光源、雙工作臺又可以說是核心中的核心。

擁有高數(shù)值孔徑的光學鏡頭是決定光刻機的分辨率和閾值誤差能力。而分辨率和套值誤差能力對于一臺光刻機具有至關(guān)重要的重要性。而世界上最為先進的EUV極紫外光刻機唯一可以使用的鏡頭就是由蔡司公司生產(chǎn)的鏡頭。

光刻機的光學光源所包含的光源波長是決定光刻機工業(yè)能力的重要部分。需要特別注意的是，光刻機所需要的光源，必須具備體積小、功率高以及穩(wěn)定的幾個特點。

比如說極紫外EUV光刻機所使用的光源波長是僅僅只有13.5納米的極紫外光，其所使用的光學系統(tǒng)極為復(fù)雜。

光刻機中所需要的工作臺系能夠影響光刻機運行過程中的精度和產(chǎn)效，含有的綜合技術(shù)難度非常高。因為這種工作臺中具有承載硅片來能夠完成光刻機運行過程中的一系列超精密的運動系統(tǒng)，其中包括上下片、對準、景圓面型測量、曝光等等。

2、組裝技術(shù)

一臺光刻機不僅需要精密的零件，這些零件的組裝技術(shù)也至關(guān)重要。

當所有零件都準備就緒之后，接下來的組裝過程將直接影響一個光刻機的運行效能。現(xiàn)在光刻機主要生產(chǎn)商荷蘭ASML公司（中文譯名：阿斯麥爾）的生產(chǎn)過程從本質(zhì)上來說更像是一個零件組裝公司，因為ASML公司生產(chǎn)光刻機所需要的將近90%的部件是從世界各地采購，其在世界上擁有超過五千家供應(yīng)商。

換句話說，ASML公司之所以能夠在光刻機制造技術(shù)上打敗尼康以及佳能等其他光刻機生產(chǎn)對手，從而在全球光刻機制造和銷售市場上占據(jù)領(lǐng)先地位，一個重要原因就是強大的組裝技術(shù)。

一家強大的光刻機組裝企業(yè)需要具有各種嫻熟的技術(shù)工人和各種組裝方面的知識產(chǎn)權(quán)，從而能夠清楚明白各種精密元件如何組裝，進而通過他們嫻熟的操作和系統(tǒng)的知識來快速和精確的制造一臺光刻機。

我國目前在光刻機的技術(shù)方面，經(jīng)過近二十年的關(guān)鍵技術(shù)攻克，已經(jīng)取得長足發(fā)展。

從光刻機雙工作臺來說，中國華卓精科與清華團隊生產(chǎn)聯(lián)合研制的雙工作臺已經(jīng)打破ASML的技術(shù)壟斷，至于光刻機的同步光源設(shè)備和光學鏡頭的技術(shù)也在哈工大等全國知名科研機構(gòu)的潛心研究中獲得了迅猛發(fā)展。

可以說，目前我國人才、資源、資金等各個方面都已具備，未來我們擁有屬于自己的光刻機只是時間問題，未來前景可期！