著錄信息
- 專利名稱：一種臺面整流器件的玻璃鈍化形成工藝
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN200410093980.0
- 公開(公告)號：CN1302523C
- 申請日：20041221
- 公開(公告)日：20070228
- 申請人：天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
- 發(fā)明人：魏慶忠,王道強,王有國,杜春倩,李樸革
- 申請人地址：300111天津市南開區(qū)黃河道495號
- 申請人區(qū)域代碼：CN120104
- 專利權(quán)人：天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：H01L21/31,H01L21/316
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機構(gòu)：天津中環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司
- 代理人：莫琪
- 審查員：白燕
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
臺面,硅片,單晶硅,半導(dǎo)體器件,丙醇,電泳,玻璃鈍化,處理工藝,鈍化玻璃,硅整流器,環(huán)氧乙烷,鉛系玻璃,臺面溝槽,氧氣氣氛,乙酸乙脂,用電泳法,有效控制,聚合物,硝酸,電泳液,二元醇,均勻度,丙酮,反壓,混酸,燒成,沉積,腐蝕,玻璃,擴散
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