著錄信息
- 專利名稱:一種臺(tái)面整流器件的玻璃鈍化形成工藝
- 專利類型:發(fā)明
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN200410093980.0
- 公開(kāi)(公告)號(hào):CN1302523C
- 申請(qǐng)日:20041221
- 公開(kāi)(公告)日:20070228
- 申請(qǐng)人:天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
- 發(fā)明人:魏慶忠,王道強(qiáng),王有國(guó),杜春倩,李樸革
- 申請(qǐng)人地址:300111天津市南開(kāi)區(qū)黃河道495號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼:CN120104
- 專利權(quán)人:天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司
- 洛迦諾分類:無(wú)
- IPC:H01L21/31,H01L21/316
- 優(yōu)先權(quán):無(wú)
- 專利代理機(jī)構(gòu):天津中環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司
- 代理人:莫琪
- 審查員:白燕
- 國(guó)際申請(qǐng):無(wú)
- 國(guó)際公開(kāi)(公告):無(wú)
- 進(jìn)入國(guó)家日期:無(wú)
- 分案申請(qǐng):無(wú)
關(guān)鍵詞
臺(tái)面,硅片,單晶硅,半導(dǎo)體器件,丙醇,電泳,玻璃鈍化,處理工藝,鈍化玻璃,硅整流器,環(huán)氧乙烷,鉛系玻璃,臺(tái)面溝槽,氧氣氣氛,乙酸乙脂,用電泳法,有效控制,聚合物,硝酸,電泳液,二元醇,均勻度,丙酮,反壓,混酸,燒成,沉積,腐蝕,玻璃,擴(kuò)散
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