著錄信息
- 專利名稱：一種高純硅料烘干裝置及烘干方法
- 專利類型：發(fā)明
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN201210315489.2
- 公開(公告)號(hào)：CN102818439B
- 申請(qǐng)日：20120830
- 公開(公告)日：20150114
- 申請(qǐng)人：西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
- 發(fā)明人：趙可武,李淑麗,宋涵,吳向龍,尹辰
- 申請(qǐng)人地址：710100 陜西省西安市長安區(qū)航天中路388號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼：CN610116
- 專利權(quán)人：西安隆基硅材料股份有限公司,無錫隆基硅材料有限公司,寧夏隆基硅材料有限公司,銀川隆基硅材料有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：F26B9/10,F26B25/08,F26B7/00
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：西安弘理專利事務(wù)所 61214
- 代理人：羅笛
- 審查員：王爽
- 國際申請(qǐng)：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請(qǐng)：無
關(guān)鍵詞
高純硅,烘盤,連通,循環(huán)加熱裝置,抽真空裝置,烘干,側(cè)壁,齒軌,支架,導(dǎo)熱介質(zhì)出口,導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)口,真空泵抽真空,裝置及方法,烘干方法,烘干效果,烘干效率,烘干裝置,控制裝置,密封箱體,實(shí)時(shí)檢測,抽真空,帶密封,真空表,內(nèi)腔,密封,驗(yàn)證,連接
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